半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
產(chǎn)品概述
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH（又稱PS6AH/PS6NH）是專為半導體工業(yè)設計的氣體檢測設備，采用泵吸式采樣方式，可靈活安裝于各類工業(yè)環(huán)境。該系列產(chǎn)品通過模塊化設計實現(xiàn)快速傳感器更換，支持檢測多種特種氣體，包括NF3、CCl4等半導體工藝中常見的氣體類型。其核心特點是采用特氟龍材質(zhì)采樣管道（外徑6mm/內(nèi)徑4mm），配管距離可達20米（吸附性氣體為5米），并配備0-9999LED濃度顯示屏，便于現(xiàn)場實時監(jiān)控。257
技術(shù)原理與功能特點
PS-6AH型號采用定電位電解式、熱線型半導體式及隔膜Galvanic電池式復合檢測原理，而PS-6NH專為NF3和CCl4設計，采用熱分解與定電位電解式技術(shù)。產(chǎn)品內(nèi)置雙段報警功能（開路集電極OFF輸出），支持故障自診斷和流量異常提示。標準4-20mA輸出信號可無縫接入各類控制系統(tǒng)，無需現(xiàn)場標定即可投入使用。設備工作溫度范圍為0-40℃，采用DC24V±10%供電，功耗分別為10W（PS-6AH）和15W（PS-6NH），緊湊型設計（73×198×145mm）適合狹小空間安裝。369
應用場景與操作優(yōu)勢
該系列探頭廣泛應用于半導體制造、特種氣體存儲等場景，其卡式傳感器設計使維護人員無需工具即可完成傳感器更換。泵吸式采樣方式配合特氟龍防腐管道，能有效應對腐蝕性氣體環(huán)境。設備提供本地濃度顯示與遠程信號傳輸雙重監(jiān)測方式，用戶可通過LED屏直接讀取數(shù)據(jù)或通過電纜（KVV-P3/4芯）連接至中控系統(tǒng)。報警閾值可自定義設置，包括零抑制和線性表格調(diào)整功能，適應不同工藝需求。1410
英文介紹（Semiconductor Special Gas Detection Probe）
The PS-6AH/PS-6NH series are pump-sampling gas detection probes specifically engineered for semiconductor manufacturing environments. Featuring a modular sensor cartridge system, these probes allow quick sensor replacement for detecting various process gases including NF3 and CCl4. The PTFE sampling tube (6mm OD/4mm ID) supports piping distances up to 20m (5m for adsorbent gases), with real-time concentration displayed on a 4-digit LED screen. 58
Equipped with multiple detection principles - galvanic cell, semiconductor and electrochemical technologies (PS-6AH) or thermal decomposition method (PS-6NH) - the probes deliver 4-20mA analog output compatible with most control systems. Dual-stage alarms with open-collector outputs and flow failure alerts enhance operational safety. The compact enclosure (73×198×145mm) operates within 0-40℃ using 24VDC power, requiring only 10-15W consumption. Field calibration is eliminated through pre-calibrated sensors, while local concentration verification and remote monitoring options provide flexible deployment. 7910
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
的詳細介紹半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH特點：
¬ 由于是4～20mA的標準輸出,因此可接入各種測量裝置和系統(tǒng)。
¬ 由于現(xiàn)場有濃度顯示功能，因此可在設置現(xiàn)場確認濃度。
¬ 可以設定報警水平，故障報警，零抑制或線性表格等。
¬ 檢測部有各種接點輸出信號
規(guī)格：
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